等离子清洗机观察,硅晶圆将用于硅电池制作
文章导读：锂电池中常见的应该算锂离子电池，在我们日常生活中的便携式电器如手提电脑、摄像机、移动通讯中得到普遍应用。目前硅电池也在开发和研制，预计会先在手机电池上进行应用。
现在，咱们手持的智能手机基本都是运用的锂电池，电池技能也是如今智能科技需求突破的难点之一，据外媒报道称，一家名叫XNRGI的初创公司希望打破这种局面，计划明年量产“多孔”硅电池，它比传统锂离子电池有更好的能量密度和更低的制造成本，并且使用起来也更安全。此外，这家公司运用类似于半导体公司打造处理器的方法用晶圆来制造硅电池。球速的等离子清洗机在晶圆清洗和光刻胶去除上使用较多，对这种用硅晶圆来制造电池的方法也很感兴趣。
XNRGI公司在硅电池的项目上的研发已经长达15年的时间，其能量密度是锂离子电池的四倍，成本仅为其一半，而他们的“多孔”硅电池可以用于不少场景，比如智能手机等不少智能终端上。其制作的原理是在将十分细密的20×20微米蜂窝状图画蚀刻到这些晶片中之后，它们用锂和其他金属涂覆它们以形成所谓的“微电池”的阳极和阴极，每12英寸硅晶圆容纳3600万个这些垂直微电池（能量密度超越400Wh/kg），形成一个宏电池，由于其非正统的架构，具有更快的充电优势。
XNRGI的电池是可回收的，而且不像传统的锂离子电池那样容易受到热失控的影响。<span font-size:16px;"="">它们的能量密度超越400 Wh / kg，使其制作成本更低，因此是电动汽车和电网存储的理想挑选。
本文来源：OFweek锂电
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